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本文对不同注磷能量和不同剂量(5×10
14
~1×10
16
/cm
2
)的硅片进行了中子活化分析,测定硅中磷的剖面分布、注入剂量及其射程,方法测量下限为4×10
-10
g。
赵新安 , 上海冶金所科技通讯 , 3 , 37 ( 1974 ).
J. F. Gibbons et al ., Projeteel rang stattlstics 2nd ed , Halstead Press , Strondsberg USA , 1975 .
J. P. OP. De Beek , J. Radioanal. Chem ., 1 , 431 ( 1969 ).
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