采用1.2米回旋加速器产生的质子束（6.7MeV、约8

μ

A）照射硅样品，使氧发生

18

O（

p

，

n

）

18

F核反应，

18

F半衰期为110分。辐照后用化学处理腐蚀表面，然后用热解分离法分离出

18

F，用蒸馏水吸收、处理转化为氟化钙样品进行测定。热解法分离的回收率约为50～70%，本法探测极限为5×10

-3

%，相对误差为± 30%；一般含氧量为l×10

-3

%时，相对误差为±10%。