利用离子束进行散射分析，虽然早就有人做过，但是直到七十年代才有了真正的发展

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。1973年、1975年、1977年和1979年召开的四次专业性国际会议上，已经发表过大量文章。

离子束散射分析能够区分靶核的质量数，可用作定量分析。其最重要的特点是能够给出靶核浓度随着深度分布的信息，特别适用于分析轻基体材料中的重元素杂质。并且，还具有无损、直观、可靠等优点。它的可分析深度一般是从几十埃至几微米的物质近表面区域。所以，近几年来散射分析在表面分析研究中得到迅速的发展和广泛的应用。例如，在电子材料、材料科学、核能材料研究等方面，它都有很多应用。

This paper describes a method for thickness measurements of thin layer and foil by using the forward scattering of alpha particles from the cyclotron. By analyzing the scattering spectra

a thickness of a gold layer coated on kovar substrate and thickness of a carbon foil have been determined.