在分析化学中，X射线荧光分析法是一种应用广泛的分析工具。七十年代以来，由于半导体硅（锂）探测器大量投入使用，从而发展了能量色散X射线分析技术，其中质子激发X射线分析技术的发展尤为迅速，而放射性同位素源激发的X射线分析由于设备简单、操作方便、经费省等优点也有了很大的发展，成了X射线荧光分析中的一个重要分支，有的已成为微量元素分析中的常用工具。在环境科学、生物医学、地质、冶金、考古等许多领域内得到了广泛的应用。