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本文介绍用真空蒸发制备厚度为1
µ
m左右的无衬底铁靶的方法。
无衬底铁靶是为核物理实验
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Fe(p
n)
56
Co反应而制备的。在这个靶的制备过程中,我们采用了氯化钠作脱膜剂、不锈钢片作衬底和氧化铝坩埚作蒸发器的真空镀膜技术,成功地制备了厚度为1
µ
m左右的无衬底铁靶。
O. O. Leonard еt al. , J. Appl. Phys. , 16 , 425 ( 1945 ).
Ю. А. Биньковский и др. , ПТЭ. , 5 , 190 ( 1961 ).
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